自動識別以進行晶圓追蹤

在高度競爭下,全球的半導體產業需要能夠更嚴格控管日益複雜的製程,才能物盡其用、發揮最大產能,以及達到零錯誤率。而在整個後端處理中,必須能夠追蹤晶圓,對於獲利率更是重要。

In-Sight® 1740 系列晶圓讀取器能克服這個難題,因為這個裝置能自動識別晶圓,極度可靠,使人工介入作業降至最低 ,並避免工具發生閒置。無論是安裝在新設備或改裝並架設在現有工具上,In-Sight 1740 系列讀取器都能實現滴水不漏的晶圓追蹤能力。

過去 20 多年以來,康耐視晶圓 ID 系統已樹立了高讀率和穩定可靠的標準,In-Sight 1740 系列也不例外。In-Sight 1740 系列晶圓讀取器麻雀雖小、五臟俱全,能發揮極致效能。一個完全獨立運作的小巧系統,提供了達成高讀取率的一切功能,且依然穩定可靠。

先進的照明系統

具備 12 種模式之內建軟體控制,亮場和暗場照明功能,幾乎任何的 ID 打標,In-Sight 1740 系列讀碼器均可拍攝其影像。超軟打標、超薄塗層藍寶石基板 - In-Sight 1740 系列照明系統都能從容應付這些挑戰,且不僅止於此。此外,隨著新的晶圓製程和塗層的發展,In-Sight 1740 系列讀取器經過外接延伸即可解決成像上的新挑戰,工程人員只需以專業照明裝置搭配輔助燈具連接埠就可完美達成。  

亮場

亮場照明

 暗室

暗場照明

業經證實的讀取演算法

即使是最有效的照明,也需要先進的 ID 演算法才能成功讀取 OCR、T7 資料矩陣,以及晶圓影像上難以讀取的條碼。In-Sight 1740 系列的核心就是康耐視讀取演算法,這是康耐視根據安裝其超過 31,000 個晶圓 ID 系統的獨特經驗所開發,這些演算法被證明是世界上最穩健、最可靠的 ID 標記讀取演算法,包括某些特殊標記,如因為邊緣光刻膠造成難以辨識的 ID 標記、CMP、刻劃在壓鑄的圖案及其他情況,


T7-特寫

SEMI T7

影像增強濾鏡

晶圓處理效應可能會影響 ID 標記品質,最嚴重的程度時,即使是最先進的照明系統和軟體演算法都無法讀取。In-Sight 1740 系列讀碼器可使用自動影像增強濾鏡,克服這些外觀不佳情況。在最嚴苛的情況下,濾鏡能將讀取失敗轉成成功讀取,同時增加可靠性,並消除人工介入作業之需要。

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無 OCR 濾鏡

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有 OCR 濾鏡

更快的讀取效能

In-Sight 1740 系列的讀取速度比前一代暢銷的 In-Sight 1720 系列機種讀取速度快了 40%。額外的功能也可以用來執行更需要處理器密集型資源的影像分析,在不增加整體讀取時間的情況下提供異常可靠的結果。

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