Detecção de Encaixe do Wafer
Mantenha o alinhamento preciso de wafers de semicondutores com restrições de espaço apertados
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Saber a posição e a orientação de um wafer de semicondutor é fundamental durante o processo de fabricação do wafer. Isso é feito monitorando um encaixe no wafer para entender sua orientação em cada etapa. Com wafers custando entre $5.000 e mais de $100.000, qualquer desalinhamento durante o processo de fabricação pode resultar em defeitos sérios e irreparáveis, exigindo que o wafer seja descartado.
Os métodos tradicionais para localizar o encaixe usam um sensor óptico a laser de matriz de feixe contínuo que requer transmissor e receptor volumosos posicionados acima e abaixo do wafer. Isso ocupa um valioso espaço mecânico e adiciona tempo enquanto o wafer gira até que o encaixe seja encontrado. Com a introdução de wafers transparentes (SiC) e outros revestimentos de wafer exclusivos, o sensor de feixe contínuo tem dificuldade em encontrar o encaixe com precisão, aumentando a chance de desalinhamento durante esse processo específico.
Os sistemas de visão In-Sight da Cognex identificam com precisão o encaixe do wafer e a posição XY com uma precisão de até 0,025 pixels. O algoritmo PatMax da Cognex detecta com precisão o encaixe do wafer em qualquer orientação e envia a posição e os dados dimensionais de volta para o robô de montagem ou CLP. Além disso, o design de corpo ultracompacto do sistema de visão satisfaz as restrições de tamanho extremamente rígidas, o que elimina a necessidade de um sensor óptico a laser ser posicionado acima e abaixo do wafer.
A Cognex também possui um sistema óptico de baixo perfil patenteado para visualizar todo o wafer nos casos em que os fabricantes não podem montar uma lente em uma distância de trabalho maior.
