산업별 솔루션

웨이퍼 추적 기능을 위한 자동 식별

매우 치열한 경쟁 속에서 글로벌 반도체 산업 분야에서는 장비의 활용도와 생산성을 극대화하기 위해서 보다 더 복잡한 공정을 엄격하게 제어해야 하며 어떠한 오류도 용납할 수 없다. 이러한 상황에서 과거 어느 때 보다도 수익성 향상에 있어 백엔드 공정 전체에 웨이퍼의 추적 기능이 더욱 중요시 되고 있다.

In-Sight® 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 작업자의 개입을 최소화하고 장비 유휴 시간을 줄이기 위해 최고의 신뢰성을 가지고  웨이퍼를 자동으로 식별함으로써 이러한 목표 달성을 지원한다. In-Sight 1740 시리즈는 신규 장비 상의 설치는 물론, 기존 도구 상의 보완, 강화 설치 시에도 100% 웨이퍼 추적 가능성을 실현한다.

In-Sight 1740 시리즈를 포함한 Cognex 웨이퍼 ID 시스템은 20 년 이상의 기간 동안 고속 판독률과 신뢰성 측면에서 전세계적인 표준으로 인정 받아 왔다. In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 크기는 작지만 모든 성능을 완벽하게 집약시켰다. 탁월한 신뢰성으로 높은 판독률을 달성하기 위해 요구되는 모든 기능들이 다른 요소의 도움 없이 컴팩트한 단일 시스템 내에서 모두 운영되면서 제공된다.

고급 조명 시스템

In-Sight 1740 시리즈는 내장된 12 개 모드와 소프트웨어로 제어되는 명시야/암시야 조명을 통해 거의 모든 ID 마크를 이미지화 할 수 있다. In-Sight 1740 시리즈 조명 시스템은 매우 희미한 표식과 초박막 사파이어 기판 코팅 등 판독이 어려운 수많은 적용 분야도 무리 없이 처리할 수 있다. 또한 새로운 웨이퍼 공정 및 코팅 기술의 개발과 함께 In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 보조 조명 확장 포트로 전원을 공급하는 특수 조명으로 새로운 이미지 문제를 해결한다.  

Bright field

명시야 조명

 Dark-field

암시야 조명

검증 받은 판독 알고리즘

가장 효과적인 조명 시스템이라고 하더라도 OCR, T7 데이터 매트릭스, 이미지 웨이퍼 하드 바코드 판독을 성공적으로 수행하기 위해서는 탁월한 ID 알고리즘이 필수적이다. In-Sight 1740 시리즈의 핵심적인 요소들 중 하나는 31,000 여 대 이상의 웨이퍼 ID 시스템 설치에서 축적한 경험을 통해서만 구축할 수 있는 Cognex 판독 알고리즘이다. 이 알고리즘은 에지 비드, CMP, 다이 상의 요철 패턴, 기타 조건으로 인해 판독이 어려운 ID 표식에 대해서도 세계 최고 수준의 신뢰도로 안정성으로 판독 가능성이 검증된 바 있다.


T7-close-up

SEMI T7

이미지 강화 필터

웨이퍼 공정의 영향으로 ID 표식 품질이 가장 앞선 조명 시스템과 소프트웨어 알고리즘으로도 판독이 불가능한 경우가 발생할 수 있다. In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 자동 이미지 강화 필터를 이용해서 이러한 시각 품질 저하를 극복할 수 있다. 가장 심각한 경우에도 필터를 통해서 판독 오류가 발생하는 상황도 성공적으로 판독이 가능하며 동시에 신뢰성을 개선하고 작업자의 개입을 줄인다.

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OCR 필터 미적용

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OCR 필터 적용

보다 빠른 판독 성능

In-Sight 1740 시리즈는 전세계적인 베스트셀러인 In-Sight 1720 시리즈 보다도 판독 속도가 40% 향상되었다. 또한 처리 능력 강화를 통해 전체적인 판독 시간을 증가시키지 않고도 많은 연산량을 바탕으로 신뢰성이 높은 탁월한 결과를 제공하는 이미지 분석을 보다 강력하게 수행할 수 있다.

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