전자산업

웨이퍼 노치 검출

조밀한 공간 제약이 있는 반도체 웨이퍼의 정확한 얼라인먼트 유지

Wafer notch detection

관련 제품

2D Machine Vision Systems Insight 7000 and hand holding In-Sight 9000

In-Sight® 비전시스템

부품 검사, 식별 및 가이드 작업에서 최상의 성능을 제공합니다.

PatMax로 부품 위치 파악

정확하고 반복 가능한 부품 및 특징 위치 확인 기술

반도체 웨이퍼의 위치와 방향을 파악하는 것은 웨이퍼 제조 공정에서 매우 중요합니다. 이 작업은 웨이퍼의 노치를 모니터링해 각 단계에서 웨이퍼의 방향을 파악하는 방식으로 이루어집니다. 웨이퍼의 비용이 $5,000 ~ $100,000 이상인 것을 고려했을 때, 제조 공정 중 잘못된 얼라인먼트가 발생하면 복구할 수 없는 심각한 결함으로 이어지고 이 경우 웨이퍼를 폐기해야 합니다.

노치를 찾기 위해 기존에는 투과 빔 어레이 레이저 광학 센서를 이용했는데, 웨이퍼의 위/아래에 부피가 큰 송/수신기를 배치해야 합니다. 이는 상당한 공간을 차지하게 되며, 노치를 찾을 때까지 웨이퍼가 회전하는 동안 추가 시간을 필요로합니다. 투명 웨이퍼(SiC) 및 기타 고유의 웨이퍼 코팅 도입으로 인해 투과 빔 센서가 노치를 정확히 찾기가 어려워져 특정 공정 중에 잘못된 얼라인먼트가 발생할 확률이 높아집니다.

코그넥스 In-Sight 비전 시스템은 0.025 픽셀의 정확도로 웨이퍼의 노치와 XY 위치를 정확히 식별합니다. 코그넥스의 PatMax 알고리즘이 어떤 방향으로든 웨이퍼의 노치를 정확히 감지하여 위치 및 치수 데이터를 다시 조립 로봇이나 PLC로 출력합니다. 게다가 비전 시스템의 매우 컴팩트한 바디 디자인은 극한의 공간 제약을 충족하므로 레이저 광학 센서를 웨이퍼의 위/아래에 배치할 필요가 없어집니다.

또한 코그넥스는 더 긴 작동 거리에서 렌즈를 장착하기 어려운 경우, 전체 웨이퍼를 볼 수 있는 특허 취득한 로우 프로파일 광학 시스템을 보유하고 있습니다.

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