웨이퍼 추적 가능성

일관된 방식으로 웨이퍼 ID 마크를 해독해서 다이싱 프로세스 전에 웨이퍼의 이력을 정확히 추적

Vision system reading an OCR code on a semiconductor wafer

관련 제품

In-Sight 1740 웨이퍼 리더기

In-Sight 1740 시리즈는 내장된 12 개 모드와 소프트웨어로 제어되는 명시야/암시야 조명을 통해 거의 모든 ID 마크를 이미지화 할 수 있습니다.

2D Machine Vision Systems Insight 7000 and hand holding In-Sight 9000

In-Sight® 비전시스템

부품 검사, 식별 및 가이드 작업에서 최상의 성능을 제공합니다.

웨이퍼에는 레이저로 ID 숫자가 표시되며, 실리콘 디스크의 작은 부분에 배치됩니다. 이러한 코드는 영숫자 문자이거나 Data Matrix 코드이고, 다이싱될 때까지 프런트엔드 프로세스 전체에서 웨이퍼를 추적하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 ID는 다양한 마스킹, 에칭, 노광(photolithographic) 프로세스 중에 품질이 저하되어 웨이퍼의 반사성 배경 때문에 해독하기가 어려워질 수 있습니다.

제품 데모

Cognex In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 리더기는 웨이퍼 식별을 위해 특별히 개발된 첨단 알고리즘을 탑재하고 있어 웨이퍼 다이싱 전에 광학 문자 인식(OCR) 및 2차원 바코드 기능을 모두 제공합니다. 이러한 웨이퍼 리더기는 적응형 통합 조명과 이미지 처리 기능을 이용해 영숫자, SEMI-T7 Data Matrix 코드를 포함해 다양한 마킹 방법을 위한 최적의 이미지 형태를 제공합니다. In-Sight 1740은 다양한 공정 단계에서 발생하는 마크의 모양 변화에 따라 자동으로 조정되므로 판독 불가를 축소하고, 머신의 도움을 최소화하며, 머신 가동 시간을 최대한으로 실현할 수 있습니다. In-Sight 1740은 코드를 정확하고 신속히 판독해 확실한 웨이퍼 이력 추적을 보장합니다.

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