웨이퍼 및 다이 얼라인먼트

웨이퍼와 다이를 정확히 얼라인하여 신뢰할 수 있는 성능을 보장

반도체 제조 공정의 많은 단계에서는 포토리소그래피 프로세스, 웨이퍼 프로브 및 테스트, 웨이퍼 마운팅, 다이싱 등과 같은 고정밀 얼라인먼트가 필요합니다. 업계의 수요를 충족하기 위해 반도체 제조업체들은 작업자의 개입을 최소화한 고속 자동화 생산 시스템을 이용합니다. 비전 얼라인먼트 시스템의 성능이 좋지 못하면 수작업 처리와 유지보수를 위해 보다 자주 작업을 중단하게 되므로 생산 프로세스를 방해하고 추가 비용을 더하게 됩니다. 생산 비효율 이외에, 부정확한 얼라인먼트로 인해 웨이퍼 생산량이 감소하고 다이 회로의 전기 기능이 떨어집니다.

PatMax 기술은 이러한 문제를 해결하기 위해서 웨이퍼 검사, 확인, 마운팅, 다이싱, 테스트 장비를 위한 강력하고 정확하며 빠른 웨이퍼 및 다이 패턴 위치를 파악합니다. PatMax는 특허 취득한 형상 패턴 찾기 알고리즘을 이용해서 변동이 심한 웨이퍼와 다이 패턴을 찾고 정렬합니다. 이 기술은 높은 정밀도와 반복성으로 웨이퍼와 다이를 정렬함으로써 반도체 생산 공정 전반에서 신뢰도 높은 장비 성능을 보장합니다. 코그넥스를 이용해서 OEM 업체들은 장비의 전반적인 성능을 최적화하고 품질과 생산성을 개선할 수 있습니다.