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자동화 광학 검사(AOI)를 적용한 LED 다이 외관 검사

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웨이퍼 위에서 LED를 생성한 후에는 LED의 품질과 성능에 부정적인 영향을 줄 수 있는 균열, 깨짐, 암점 등의 표면 결함을 검사해야 합니다. 이런 유형의 결함은 다양하고 여러 위치에서 발생할 수 있기 때문에 규칙 기반 머신 비전은 고속 검사에 활용할 수 없습니다. 또한 LED 다이의 품질에 악영향을 미치지 않는 정상 변형도 발생할 수 있어서 시스템에서 이런 사소한 결함을 무시할 수 있어야 합니다. 매일 처리되는 LED 다이의 크기와 양을 생각할 때 수작업 검사는 효율적이지도, 실용적이지도 않습니다.

Cognex AI 기반 비전 시스템 및 소프트웨어는 제조업체가 실제 LED 다이 결함을 식별하고 분류하는 데 도움이 됩니다. 이 첨단 비전 솔루션은 중대한 결함만 플래그를 지정할 수 있도록 정상 및 비정상(NG) 결과를 모두 나타내는 일련의 이미지를 사용해 트레이닝됩니다. 이 위치 식별 툴은 관심 영역(ROI)을 식별합니다. ROI가 정의되면 결함 감지 툴이 해당 영역 내의 결함을 식별합니다. 그 다음에 분류 툴이 결함을 구분합니다. 생산 관리자는 이 정보를 사용해 완성된 LED의 생산량을 늘릴 수 있을 뿐 아니라 분류 정보를 이용해 생산 문제를 해결하고 수익성을 증대시킬 수 있습니다.

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