8월 03, 2011
리딩 처리 능력을 두 배로 이끌어 올리며 새로운 기준을 마련한 COGNEX 웨이퍼 판독 장비
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2011년 8월 8일 서울 - 세계 최고 수준의 머신 비전 시스템 납품 업체인 Cognex Corporation(NASDAQ: CGNX)에서는 차세대 웨이퍼 식별(ID) 판독 장비 및 관련 소프트웨어 In-Sight® 1740 시리즈와 In-Sight Explorer Wafer ID 소프트웨어 버전 4.5.0을 발표했다. 이 새로운 제품군에는 판독률과 신뢰성을 개선하고 동시에 다양한 웨이퍼 처리 및 공정 도구에서 판독 장비를 보다 쉽게 구성, 유지할 수 있는 기능들이 포함된다. 이러한 모든 기능들이 결합되어 웨이퍼 ID 단계에서 최대한의 도구 가동 시간을 보장하고 작업자의 개입 필요를 제거한다.
보다 강력한 처리 능력을 지원하는 In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 일반적인 경우에 대해 판독 시간을 40% 단축시켰다. In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 보다 빠른 처리 속도를 통해 자동화된 새로운 자체 최적화 기능을 활용할 수 있다. 이러한 새로운 기능은 가장 판독이 어려운 ID 표식에 대한 판독률과 신뢰성도 크게 증가시키며 작업자의 개입 없이 문제 없는 작업을 보장한다.
In-Sight 1740 시리즈 판독 장비에는 이전 세대 제품에 적용된 탁월한 통합 조명 시스템이 포함된다. Cognex In-Sight 1720 시리즈 판독 장비는 고신뢰성 명시야 이미지를 생성하는 내장형 조명 시스템으로 높은 평가를 받고 있다. In-Sight 1740 시리즈는 다양한 유형의 웨이퍼에서 ID 표식에 대한 탁월한 고대비 암시야 이미지를 생성하는 내장된 외부 LED 소켓을 기반으로 최고의 조명 시스템을 실현했다. 또한 새로운 웨이퍼 공정 코팅 유형이 개발됨에 따라 In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 외장 조명 확장 포트로 전원을 공급하는 특수 조명으로 새로운 이미지 문제를 해결한다.
“In-Sight 1740 시리즈는 이미 웨이퍼 판독 장비의 표준으로 인정되는 제품군을 개선시킵니다.” Cognex Vision Systems의 사업부 매니저인 Bhaskar Banerjee는 이렇게 말했다. “새로운 시스템은 자동 이미지 개선과 같은 몇몇 업그레이드를 제공하며 Cognex에서만 제공하는 기능인 자동 이미지 개선 필터 기능 등을 이용해서 웨이퍼 ID에서의 시각 품질 저하를 극복하는 소프트웨어 도구입니다.”
새로운 In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 판독 장비는 100% 역방향 호환성을 지원한다. 정확하게 동일한 규격, 마운팅 구멍 패턴, 원격 명령 집합 등을 지원하는 In-Sight 1740 시리즈 판독 장비는 현재 In-Sight 1720 시리즈가 사용되는 모든 곳에 적용 가능하다.
신형 In-Sight Explorer Wafer ID 소프트웨어 버전 4.5.0에는 몇 가지 새로운 도구가 포함된다:
• 시각 품질 저하 방지를 위한 자동 이미지 개선 필터. 대부분의 경우 강화 터는 작업자의 개입 없이 판독 오류를 판독 성공으로 바꿀 수 있다.
• 300mm 웨이퍼 지원을 위한 개선. SEMI M1.15 표준에 의거해서 모든 300mm 웨이퍼에는 T7 Data Matrix code 및 OCR 마크가 표시된다. Cognex의 새로운 4.5.0 버전 소프트웨어는 먼저 특허 받은 Cognex IDMax® 기술을 이용해서 T7 코드 판독을 시도해서 SEMI M1.15 마커 판독 성능을 개선한다. 만일 T7 코드가 처리 중에 너무 품질이 저하되면 OCR 마커를 사용하게 된다. 따라서 최대 신뢰성이 보장되며 구성 관련 필요가 줄어 들기 때문에 판독 장비 유지 보수가 용이하다.
Cognex In-Sight 1740 시리즈 웨이퍼 ID 판독 장비는 현재 판매 중이다. 자세한 정보는 www.cognex.com/waferID에서 확인할 수 있다.
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유 지 현 과장
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