ウェハトレーサビリティの自動認識
グローバルに展開される半導体産業の競争は激しさを増し、ツールの使用および生産量を最大化するために、増加する複雑な処理をより正確に制御する要求が増え続けています。つまり、そこでの失敗は許されません。後続処理においてウェハを追跡する必要性は、今まで以上に利益性に重要となっています。
In-Sight® 1740シリーズのウェハリーダは、ウェハを自動的に認識して、人的関与の必要性とツールのアイドル時間を最小限に抑えることにより、この要求に対応しています。In-Sight 1740シリーズリーダは、新しい設備に設置されても、既存のツールに増設しても、ウェハトレーサビリティを100％実現します。
コグネックスのウェハIDシステムは、20年以上もの間、その高い読み取り率と信頼性で基準を保ってきました。In-Sight 1740シリーズもその伝統を受け継いでいます。In-Sight 1740シリーズのウェハリーダは、あらゆる性能が搭載された小型リーダです。信頼性に影響を与えず高い読み取り率を達成するために必要なすべてがオールインワンタイプの1台の小型リーダに装備されています。
高度な照明システム
12の内蔵モード、ソフトウェア制御、明暗の視野照明を搭載したIn-Sight 1740シリーズのリーダは、事実上あらゆる識別マークを画像処理できます。非常に柔らかい素材や、サファイア基板の極薄コーティングなど、In-Sight 1740シリーズの照明システムは、さまざまな困難な状況にも対応します。さらに、新しいタイプのウェハ処理およびコーティングが開発されたことにより、In-Sight 1740シリーズリーダは、補助照明ポートから電源を供給する特殊照明を使って、新しい画像要件に対応するための拡張が可能になりました。
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明視野照明 |
暗視野照明 |
実績のある読み取りアルゴリズム
最も効率性の高い照明でもOCR、T7データマトリックス、硬いウェハ上のバーコードを正確に読み取り、処理するためには高度なアルゴリズムが必要です。In-Sight 1740 シリーズの中心は、31,000個以上のウェハIDシステムにインストールしてきた経験を基に開発されたコグネックスの読み取りアルゴリズムです。これらのアルゴリズムは、エッジビード、CMP、スクライバーによるダイパターンなど、さまざまな条件のコード読み取りにおいて世界で最も堅牢かつ信頼性の高いアルゴリズムとして実績があります。
SEMI T7
画像強化フィルタ
ウェハ処理の効果は、最も高度な照明システムやソフトウェアアルゴリズムでも読み取れなくなるほどIDマークの品質の大きく影響します。In-Sight 1740 シリーズリーダは、自動画像強化フィルタでこのような視覚的低下にも対応します。最も深刻な場合でも強化フィルタは、信頼性を高めながら読み取りエラーが発生した画像も読み取り、オペレータの介入も必要ありません。
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OCRフィルタなし |
OCRフィルタあり |
高速読み取り性能
In-Sight 1740シリーズリーダは、今まで最速のIn-Sight 1720シリーズよりも40％も速くなっています。このパワーアップにより、よりプロセッサに集中した画像解析を行い、全体的なリードタイムを増やすことなく高い信頼性を実現します。
