産業別ソリューション

ウェハートレーサビリティの自動化

グローバルに展開される半導体産業の競争は激しさを増し、装置の稼働および生産量を最大限にさせるために増加する複雑な処理をより正確に制御する要求が増え続けています。そのような状況下であっても、そこでの失敗は許されません。後続処理においてウェハーを追跡する必要性は、今まで以上に利益を追求する上で重要となっています。

In-Sight® 1740 シリーズのウェハーリーダは、ウェハーを自動的に認識して、人的関与の必要性と装置のアイドル時間を最小限に抑えることにより、この要求に対応しています。In-Sight 1740 シリーズリーダは、新しい設備に設置されても、既存の装置に増設しても、ウェハートレーサビリティを100%実現します。従来のシリコンウェハーだけでなくLED用途のサファイアウェハーにも対応します。

コグネックスのウェハーID読み取り装置は、20 年以上もの間、その高い読み取り率と信頼性で高い基準を保ってきました。In-Sight 1740 シリーズもその伝統を受け継いでいます。In-Sight 1740 シリーズのウェハーリーダは、すぐれたパフォーマンスを持つ小型リーダです。信頼性に影響を与えず高い読み取り率を達成するために必要なすべてがオールインワンタイプの1台の小型リーダに装備されています。

高性能な照明システム

12 種類の内蔵モデル、ソフトウェア制御、明・暗視野照明を搭載した In-Sight 1740 シリーズリーダは、事実上あらゆる識別コードを画像処理できます。LEDなどに使われるサファイア基板のコントラストの低いコーティングなど、In-Sight 1740 シリーズの照明システムは、さまざまな困難な状況にも対応します。さらに、新しいタイプのウェハー処理およびコーティングが開発されたことにより、In-Sight 1740 シリーズリーダは、補助照明ポートから電源を供給する特殊照明を使って、新しい画像要件に対応するための拡張が可能になりました。  

Bright field

明視野照明

 Dark-field

暗視野照明

実績のある読取アルゴリズム

高性能な照明でもOCR、T7データマトリックス、バーコードを正確に読み取り、ウェハーを処理するためには高度な読み取りアルゴリズムが必要です。In-Sight 1740 シリーズの中心は、31,000 台以上のウェハー読み取りシステムにインストールされてきた経験を基に開発されたコクネックスの読み取りアルゴリズムです。これらのアルゴリズムは、エッジビード、CMP、スクライバーによるダイパターンなど、さまざまな条件のコード読み取りにおいて世界で最も堅牢かつ信頼性の高いアルゴリズムとして実績があります。


T7-close-up

SEMI T7

画像改善フィルタ

ウェハーへのプロセス処理によっては、高性能な照明システムやソフトウェアアルゴリズムでも読み取れなくなるほどコードの品質に大きく影響します。In-Sight 1740 シリーズリーダは、自動画像改善フィルタでこのような画像劣化にも対応します。最も深刻な場合でも画像改善フィルタは、信頼性を高めながら読み取りエラーが発生した画像も読み取り、オペレータの介入も必要ありません。

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フィルタなし

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フィルタあり

高速読み取り性能

In-Sight 1740 シリーズリーダは、今まで最速のIn-Sight 1720 シリーズよりも40%も速くなっています。このパワーアップにより、より高度な画像処理を行っても、全体的なリードタイムを増やすことなく高い信頼性を実現します。

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