半導体

ウェハーの品質課題

ウェハーは微細化し、薄型化が進み、さらに高価値になっているため、製造プロセスの信頼性とトレーサビリティーがこれまでに比べ、より重要になっています。生産工程中にウェハーの外観に劇的な影響を与える工程変更があったとしても、コグネックスは正確なアライメントとウェハー読み取りを実現します。

ウェハーのプリアライメント

コグネックスのソフトウェアは、高い精度でウェハーをプリアライメントし、ファインアライメント工程に最も正確な位置情報を提供します。

ウェハーのファインアライメント

PatMax の特徴検出は、最も難易度の高い条件下でも正確な位置決めを行います。

ウェハーの読み取り

In-Sight 1740 シリーズのウェハーリーダは、小型のパッケージと内蔵照明を搭載し、すべてのSEMIコードを確実に読み取ります。

ウェハー検査

PatInspect はアライメントと欠陥検出をワンステップで可能にします。

ボンドパッドの検査

人工パターン登録により、あらゆる形状のボンドパッドを検出および検査します.

プローブ針の検査

専用のソフトウェアで
プローブ針先の摩耗を検査し、正確なアライメントを保証します。

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