エレクトロニクス

ウェハートレーサビリティ

ウェハーのIDマークを安定してデコードすることでダイシング処理の前にウェハーを確実に追跡

Vision system reading an OCR code on a semiconductor wafer

関連製品

In-Sight 1740 ウェハーリーダ

12の内蔵モデル、ソフトウェア制御、明・暗視野照明を搭載した In-Sight 1740 シリーズリーダは、事実上あらゆる識別コードを画像処理できます。

2D Machine Vision Systems Insight 7000 and hand holding In-Sight 9000

In-Sight ® 画像処理システムは

検査、識別、位置決めする能力に非常に優れています。

ウェハーは、シリコンディスクの小さな場所に ID 番号がレーザー刻印されています。このコードは、英数字またはデータマトリックスコードのいずれかで、ダイシングされるまでフロントエンドプロセス全体でウェハーを追跡するために使用されます。ウェハー ID は、様々なマスキング、エッチング、およびフォトリソグラフィ処理で劣化したいり、ウェハーの反射背景によってデコードが困難になることがあります。ウェハーは、ダイシングされるまでフロントエンドプロセスで使用されます。

コグネックス In-Sight 1740 シリーズウェハーリーダは、ウェハーの識別に特化して設計された先進のアルゴリズムを特徴としており、ウェハーがダイシングされる前に光学式文字認識 (OCR) と 二次元バーコード機能の両方を提供します。これらのウェハーリーダは統合された適応照明と画像処理を使用して、英数コードや SEMI-T7 データマトリックスコードを含む様々なマーキング方法に最適像形成を提供します。In-Sight 1740 は、様々なプロセス段階によって生じたマークの外観変化に自動的に適応し、それによって読み取り不能を減らし、マシン支援の必要性を最小限に抑えて、マシンのアップタイムを最大化します。In-Sight 1740 は、コードを迅速かつ正確に読み取り、正確なウェハートレーサビリティを実現します。

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