ウェハーノッチ検出

狭いスペース制約のある半導体ウェハーの正確な位置合わせを維持

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In-Sight ® 画像処理システムは

検査、識別、位置決めする能力に非常に優れています。

PatMaxによる部品検出

正確で再現性のある部品/特徴検索テクノロジ

半導体ウェハーの位置と向きを知ることは、ウェハー製造プロセスにおいて重要です。ウェハーのノッチをモニタリングすることにより、各ステップでのウェハーの向きを理解することができます。ウェハーに5,000~100,000ドル以上の費用がかかる場合、製造工程における不整合は深刻で取り返しのつかない欠陥を引き起こし、ウェハーを廃棄しなければならないことがあります。

ノッチを探す従来の方法は、スルービームアレイレーザー光センサを使用していましたが、ウェハーの上下に大きな送信機と受信機を設置しなければなりませんでした。これは貴重な機械スペースを奪うばかりか、ノッチが見つかるまでウェハーを回転させる時間も必要でした透明ウェハー (SiC) および他の独特なウェハーのコーティングが導入されたことにより、スルービームセンサではノッチの正確な検出が難しくなり、その工程だけでミスアライメントが増える可能性が出てきました。

コグネックスの In-Sight ビジョンシステムは、ウェハーのノッチと XY 位置を正確に 0.025 ピクセルまで正確に識別します。コグネックスの PatMax アルゴリズムは、あらゆる方向からウェハーのノッチを正確に検出し、位置と寸法データをアセンブリロボットまたは PLC に出力します。さらに、ビジョンシステムの超コンパクトなボディ設計は、狭い場所にも設置が可能で、レーザー光センサをウェハーの上下に配置する必要もありません。

コグネックスは、メーカーが長いワークディスタンスでのレンズの設置が難しい場合にもウェハー全体を表示するための特許取得済みのロープロファイル光学システムを備えています。