エレクトロニクス

ウェハーとダイのアライメント

PatMax テクノロジは、ウェハーの検査、プロービング、取り付け、ダイシング、およびテストの各機器に強力で、正確かつ高速なパターン探索を提供します。

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PatMaxによる部品検出

正確で再現性のある部品/特徴検索テクノロジ

写真平版プロセス時、ウェハーのプローブとテスト時、あるいはウェハーの取付けとダイシング時のいずれにおいても、 質の悪い画像処理アライメントはマシンの耐用年数に渡って数千の支援と損傷したウェハーを発生します。性能の低いビジョンシステムは、半導体機器企業に市場占有率の低下や、サポートコストの大幅な増加をもたらします。

PatMax テクノロジは、ウェハーの検査、プロービング、取り付け、ダイシング、およびテストの各機器に強力で、正確かつ高速なウェハーとダイのパターン探索を提供し、こうした問題を防ぐのに役立ちます。PatMax は特許を取得した図形パターン検出アルゴリズムを使用して、ウェハーとダイの可変パターンを探し、位置決めを行います。高い精度と再現性でウェハーやダイを配列し、半導体製造プロセスの全体に渡って機器の信頼できる動作を確保します。コグネックスにより、OEM 企業は機器全体の動作を最適化し、品質と生産高を向上できます。

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