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エレクトロニクス

マイクロLEDパネル検査

ディスプレイパネルのマイクロLEDのさまざまな欠陥を検出

フラットなマイクロLEDパネルに欠陥がないかを検査するオーバーヘッドカメラ

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マイクロLEDはウェハーからパネルに直接接着され、傷、汚染物質、またはダイの破損などの欠陥がないか検査されます。マイクロLEDダイは非常に小さいサイズ(<100ミクロン)と薄さのため、大きなLEDやミニLEDでは許容されるような生産上の欠陥により、致命的な影響を受けます。テレビ、スマートフォン、VRギアのマイクロLEDディスプレイ画面では、100%の検査と不良LEDの数が非常に少ないことが要求されます。これは、欠陥が多すぎると、ディスプレイの輝度と色の均一性に影響を与える可能性があるためです。テレビのライトパネルには数百万個のマイクロLEDがあるため、高速の生産速度を維持するためには、検査を迅速かつ正確に行う必要があります。欠陥は非常にばらつきが高い可能性があるため、従来のルールベースのマシンビジョンで対応するには複雑すぎます。

コグネックスのAIベースのテクノロジーは、マイクロLEDメーカーがディスプレイパネルの欠陥ダイを特定するのに役立ちます。システムには、良い/悪い(NG)結果の両方を示す数多くの画像が登録されています。そのため、ソフトウェアで許容範囲内のばらつきを無視し、重大な欠陥のみにフラグを立てることができます。分析ツールは、パネル全体のゾーンで動作し、マイクロLEDのわずかな欠陥を検出します。分類ツールを使用することで、生産管理者はさまざまな欠陥を分類し、そのデータを使用して上流プロセスを最適化し、全体的な生産効率を向上させることができます。プロセスの早い段階で欠陥を特定して修正することは経済的であり、メーカーが高品質のパネルを顧客に提供するのに役立ちます。 

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