• Contatto vendite Cognex: 02 30578196

  • Contatti

Componenti elettronici

Ispezione di difetti di wafer semiconduttori

Analizza ogni strato di wafer per rilevare difetti e altre anomalie indesiderate

Il deep learning ha distinto tra un esempio di ispezione conforme di wafer semiconduttore e due esempi di ispezione non conforme.

Prodotti correlati

VisionPro ViDi Software inspecting computer mouse on monitor

VisionPro Deep Learning

Ambiente di programmazione grafica per l'analisi di immagini industriali basata sul deep learning

In-Sight D900

In-Sight D900

Alimentato dal software di visione basato sul Deep Learning In-Sight ViDi

I wafer semiconduttori sono costituiti da più strati. Per ogni strato, viene eseguito un processo complesso e preciso di deposizione di materiale, applicazione del resist (sottile strato), litografia, incisione e impianto ionico, dopodiché il resist viene rimosso.

Prima di applicare un ulteriore strato, quello appena inciso e impiantato deve essere ispezionato per rilevare eventuali difetti. Gli strati del wafer possono mostrare graffi, difetti di rotazione, problemi di esposizione, contaminazione da particelle, hot spots, difetti dei bordi del wafer e un'ampia gamma di altri difetti che incidono sulle prestazioni finali del chip.

Se non vengono rilevati immediatamente dopo la deposizione dello strato, questi difetti possono essere rilevati solo al momento del test finale, sprecando risorse preziose mentre viene aggiunto ulteriore valore a un prodotto difettoso. Peggio ancora, i difetti ai livelli più bassi possono non essere rilevati affatto. Anche se superano i test elettrici finali, eventuali difetti non rilevati possono ridurre l'affidabilità d'uso, determinando guasti prematuri.

Il campo dei possibili difetti è ampio e possono essere posizionati ovunque sul wafer circolare. I difetti nei rivestimenti possono manifestarsi come variazioni imprevedibili di colore e devono essere rilevati sullo sfondo complesso degli strati precedentemente depositati. La visione artificiale convenzionale non può essere programmata per rilevare una gamma così ampia di errori ed è inaffidabile nel rilevare anche i difetti programmati in considerazione dello sfondo multistrato.

Poiché l'ispezione manuale è lenta, può essere eseguita solo su un sottoinsieme statistico di wafer. Determina inoltre un'ulteriore manipolazione dei wafer, che introduce nuove fonti di contaminazione e danni. Al contrario, il software di Deep Learning di Cognex esegue lo screening automatico dei difetti su una porzione molto più ampia di wafer. Lo strumento di rilevamento di difetti può individuare anche piccoli difetti in qualsiasi punto dello strato del wafer, ignorando completamente gli strati sottostanti, e rigetta qualsiasi anomalia. Può anche essere usato in un sistema di ispezione a due livelli, dove identifica i casi ambigui e li invia a una stazione di ispezione manuale offline per un'ulteriore revisione.

 

In-Sight D900 utilizza il deep learning per ispezionare i wafer semiconduttori alla ricerca di difetti e di altre anomalie estetiche indesiderate.

 

Prodotti Cognex presentati

OTTIENI L’ACCESSO AD ASSISTENZA E FORMAZIONE IN MERITO AI PRODOTTI E MOLTO ALTRO ANCORA

Entra a far parte di MyCognex

AVETE DELLE DOMANDE?

I rappresentanti Cognex sono disponibili in tutto il mondo per supportarvi nelle vostre necessità di lettura dei codici a barre industriali

CONTATTI