Tracciabilità dei wafer

Decodifica in modo coerente le marcature di identificazione dei wafer per una tracciabilità affidabile dei wafer prima del processo di taglio

Vision system reading an OCR code on a semiconductor wafer

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I wafer presentano numeri identificativi marcati con il laser che sono collocati su una piccola area del disco di silicio. Questi codici sono caratteri alfanumerici o codici Data Matrix e sono utilizzati per tracciare i wafer attraverso i processi front-end fino a quando vengono tagliati. Un wafer ID può degradarsi durante vari processi di mascheratura, mordenzatura e fotolitografia, diventando difficile da decodificare a causa dello sfondo riflettente del wafer.

Demo prodotto

La serie di lettori di wafer In-Sight 1740 di Cognex presenta algoritmi avanzati specifici per l'identificazione dei wafer, che effettuano il riconoscimento ottico dei caratteri (OCR) e dispongono di capacità per codici a barre bidimensionali prima del dicing del wafer. Questi lettori di wafer utilizzano illuminazione regolabile integrata ed elaborazione di immagini per fornire una formazione di immagini ottimale per diversi metodi di marcatura, come l'alfanumerico e i codici SEMI-T7 Data Matrix. In-Sight 1740 si adatta automaticamente alle variazioni dell'aspetto della marcatura causate da diverse fasi del processo, riducendo le mancate letture e la necessità di interventi sulle macchine, e aumentando la produttività. L'In-Sight 1740 assicura una lettura rapida e precisa dei codici, consentendo una tracciabilità accurata dei wafer.

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