Electrónica

Trazabilidad de wafer

Decodificar en forma consistente las marcas de identificación de wafer para su seguimiento confiable antes del proceso de corte

Vision system reading an OCR code on a semiconductor wafer

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Los wafer cuentan con números de identificación grabados con láser en una pequeña área del disco de silicio. Estos códigos son caracteres alfanuméricos o códigos Data Matrix y se utilizan para seguir los wafers en los procesos iniciales hasta que se cortan. La identificación de un wafer puede degradarse durante los varios procesos fotolitográficos, de enmascaramiento y grabado, lo que los torna difíciles de decodificar por el fondo reflejante del wafer.

Los lectores de wafer In-Sight serie 1740 de Cognex cuentan con algoritmos avanzados desarrollados específicamente para la identificación de wafer y ofrecen reconocimiento óptico de caracteres (OCR) y funciones de códigos de barras bidimensionales antes de cortar el wafer. Estos lectores de wafer utilizan iluminación adaptable integrada y procesamiento de imágenes para una formación óptima de imágenes para una variedad de métodos de marcado, incluidos los códigos alfanuméricos y SEMI-T7 Data Matrix. El In-Sight 1740 se adapta automáticamente a los cambios en la apariencia de la marca causados por las varias etapas del proceso, lo que reduce los errores de lectura, minimiza la necesidad de asistencia a las máquinas y maximiza su tiempo de funcionamiento. El In-Sight 1740 garantiza que los códigos se lean en forma rápida y precisa, lo que permite una trazabilidad de wafer precisa.

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