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Halbleiterindustrie

Wafer-Qualitätsanforderungen

Immer dünnere und teurere Wafer mit immer feineren Pitch-Maßen machen Zuverlässigkeit und Verfolgbarkeit zu den wichtigsten Produktionsfaktoren. Cognex ist die Nummer eins bei Präzisionsausrichtung und Wafer-ID, trotz Prozessänderungen, die das Erscheinungsbild von Wafern im Laufe der Fertigung massiv beeinflussen.

Wafer-Prealignment

Mithilfe der Cognex-Software erfolgt die Grobausrichtung der Wafer mit höchster Präzision, wodurch Feinausrichtungsschritte innerhalb des Prozesstools verringert werden.
               

Wafer-Feinausrichtung

PatMax® Merkmallokalisierung ist auch unter anspruchvollsten Bedingungen höchst präzise.

Wafer-Identifikation

In-Sight Wafer-Lesegeräte der Serie 1740 mit kompaktem Gehäuse und integrierter Beleuchtung identifizieren zuverlässig sämtliche SEMI-Codes.

Wafer-Inspektion

PatInspect TM  gewährleistet Einzelschritt-Ausrichtung und Fehlererkennung.

Bondinselinspektion

Künstliches Mustertraining zum Auffinden und Inspizieren von Bondinseln in fast jeder möglichen Form.

Prüfspitzeninspektion

Eine spezielle Software kontrolliert den Verschleiß der Prüfspitzen und sichert die genaue Ausrichtung.

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