Automatische Identifikation für die Nachverfolgbarkeit von Wafern

Die auf internationale Wettbewerbsfähigkeit ausgerichtete Halbleiterindustrie verlangt nach immer strengeren Kontrollen der zunehmend komplexer werdenden Prozesse, um sowohl die Rentabilität der Werkzeuge als auch die Produktionsausbeute zu maximieren. Dabei bleibt keinerlei Spielraum für eventuelle Fehler. Die Notwendigkeit, Wafer über den gesamten Back-End-Prozess zu verfolgen, ist für die Rentabilität bedeutender denn je.

Hochentwickeltes Beleuchtungssystem

Mit 12 eingebauten, softwaregesteuerten Hell- und Dunkelfeld-Beleuchtungsmodi können die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie nahezu jede ID-Markierung lesen. Ob empfindliche Markierungen, ultradünne Beschichtungen oder Saphir-Substrate - mit dem Beleuchtungsystem der In-Sight 1740 Serie gibt es keinerlei Hindernisse. Durch die permanente Entwicklung neuer Arten von Wafer-Prozessen und Beschichtungen , können die Lesegeräte der In-Sight Serie 1740 zusätzlich erweitert werden, um neuen Herausforderungen in der Bildtechnik mit einer speziellen, über den Lichtanschluss versorgten Beleuchtung gerecht zu werden.

Hellfeld-Beleuchtung

Dunkelfeld-Beleuchtung

Bildverbesserungsfilter

Bei der Waferbearbeitung kann die Qualität der ID-Markierung derart beeinträchtigt werden, dass selbst mit modernsten Beleuchtungssystemen und Software-Algorithmen ein fehlerfreies Einlesen unmöglich ist. Die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie sind jedoch imstande, diese optischen Beeinträchtigungen durch automatische Bildverbesserungsfilter zu bewältigen. Selbst bei schwierigen Lesevorgängen sind die Filter in der Lage, fehlerhafte Reads in erfolgreiche umzuwandeln, wodurch die Zuverlässigkeit weiter erhöht und menschliches Eingreifen auf ein Minimum reduziert wird.Bei der Wafer-Bearbeitung kann die Qualität der ID-Markierung derart beeinträchtigt werden, dass selbst mit modernsten Beleuchtungssystemen und Software-Algorithmen ein fehlerfreies Einlesen unmöglich ist. Die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie sind jedoch imstande, diese optischen Beeinträchtigungen durch automatische Bildverbesserungsfilter zu bewältigen. Bei den schwierigsten Lesevorgängen sind diese Filter in der Lage, fehlerhafte in erfolgreiche Reads umzuwandeln, wodurch die Zuverlässigkeit weiter erhöht und menschliches Eingreifen auf ein Minimum reduziert wird.

SEMI T7

Image enhancement filters

The effects of wafer processing can impact ID mark quality to such an extent that they resist reading by even the most advanced lighting system and software algorithms. In-Sight 1740 series readers can overcome these visual degradations using automatic image enhancement filters. In the most severe cases, filters are able turn a read failure into a read success while increasing reliability and eliminating the need for a human intervention.

ohne OCR-Filter

mit OCR-Filter

Höhere Lesegeschwindigkeit

Die Geräte der In-Sight 1740 Serie lesen um 40% schneller als die Vorgängersysteme der In-Sight 1720 Bestseller-Serie. Diese zusätzliche Leistungsstärke kann zudem für die Durchführung prozessorientierter Bildanalysen verwendet werden, die außerordentlich zuverlässige Ergebnisse liefern, ohne dabei die Gesamtlesedauer zu erhöhen.