Automatische Identifikation für die Rückverfolgbarkeit von Wafern

Die überaus wettbewerbsintensive weltweite Halbleiterindustrie verlangt nach immer strengeren Kontrollen der zunehmend komplexer werdenden Prozesse, um sowohl die Rentabilität der Werkzeuge als auch den Produktionsertrag zu maximieren, dabei bleibt keinerlei Spielraum für eventuelle Fehler. Die Notwendigkeit, Wafer über den gesamten Back-End-Prozess zu verfolgen, ist für die Wirtschaftlichkeit entscheidender denn je.

Die Wafer-Lesegeräte der Serie In-Sight® 1740 helfen bei der Bewältigung dieser Herausforderung, indem sie Wafer mit höchster Zuverlässigkeit automatisch identifizieren, den Bedarf an menschlichem Eingreifen minimieren und Stillstandzeiten der Werkzeuge vermeiden. Egal, ob neu installiert oder auf bestehende Systeme nachgerüstet, die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie machen 100%-ige Wafer-Rückverfolgung möglich.

Seit mehr als zwei Jahrzehnten setzt Cognex mit seinen Wafer-Identifizierungssystemen immer wieder neue Maßstäbe in Sachen Lesegeschwindigkeit und Zuverlässigkeit – die In-Sight 1740 Serie ist dabei keine Ausnahme. Die Wafer-Lesegeräte der Serie In-Sight 1740 sind zwar klein, aber extrem leistungsstark. Alles, was für eine hohe Leserate ohne Beeinträchtigung der Zuverlässigkeit nötig ist, wird in einem kompakten, autarken System bereitgestellt.

Fortschrittliches Beleuchtungssystem

Mit 12 eingebauten, softwaregesteuerten Hell- und Dunkelfeld-Beleuchtungsmodi können die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie nahezu jede ID-Markierung lesen. Hauchzarte Markierungen, ultradünne Beschichtungen, Saphir-Substrate – das Beleuchtungssystem der In-Sight 1740 Serie bewältigt diese und viele weitere Herausforderungen problemlos. Mit Blick auf die Entwicklungen von neuen Wafer-Prozessen und Beschichtungen können die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie erweitert werden, um neuen Anforderungen in der Bilderfassung mit einer speziellen, über den Lichtanschluss versorgten Beleuchtung gerecht zu werden.

Hellfeld

Hellfeld-Beleuchtung

 Dunkelfeld

Dunkelfeld-Beleuchtung

Erprobte Lesealgorithmen

Selbst die beste Beleuchtung erfordert ausgeklügelte ID-Algorithmen, um OCR, T7 Data Matrix und Barcodes auf schwer zu erfassenden Wafern fehlerfrei lesen zu können. Das Herzstück der In-Sight 1740 Serie bilden daher die Cognex-Lesealgorithmen. Diese wurden basierend auf der langjährigen Erfahrung dank der Installierung von bereits über 31.000 Wafer-Identifizierungssystem entwickelt. Diese Algorithmen gelten gemeinhin als die robustesten und zuverlässigsten, selbst bei ID-Markierungen, die durch Randwulste, CMP, eingeritzte Chipmuster und Sonstiges beeinträchtigt wurden.


T7-Nahaufnahme

SEMI T7

Bildverbesserungsfilter

Bei der Wafer-Bearbeitung kann die Qualität der ID-Markierung derart beeinträchtigt werden, dass selbst mit modernsten Beleuchtungssystemen und Software-Algorithmen ein fehlerfreies Einlesen unmöglich ist. Die Lesegeräte der In-Sight 1740 Serie sind jedoch imstande, diese optischen Beeinträchtigungen durch automatische Bildverbesserungsfilter zu bewältigen. Bei den schwierigsten Lesevorgängen sind diese Filter in der Lage, fehlerhafte in erfolgreiche Reads umzuwandeln, wodurch die Zuverlässigkeit weiter erhöht und menschliches Eingreifen auf ein Minimum reduziert wird.

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Ohne OCR-Filter

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Mit OCR-Filter

Höhere Lesegeschwindigkeit

Die Geräte der In-Sight 1740 Serie lesen um 40 % schneller als die Vorgängersysteme des Bestsellers In-Sight 1720 Serie. Diese zusätzliche Leistungsstärke kann ebenfalls für die Durchführung prozessorintensiver Bildanalysen verwendet werden, die außerordentlich zuverlässige Ergebnisse liefern, ohne die Gesamtlesedauer zu erhöhen.

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