웨이퍼 미세 정렬
PatMax® 피처 위치는 가장 까다롭고 어려운 조건에서도 높은 정확도를 구현해줍니다.
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와이퍼 식별
소형 크기와 통합된 조명 장치를 특징으로 하는 In-Sight 1720 시리즈 웨이퍼 판독기는 모든 SEMI 코드를 안정적으로 인식합니다.
웨이퍼 검사
PatInspect TM 은 단일 단계 정렬 기능을 제공하며 결함을 감지해줍니다.
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본드 패드 검사
합성 패턴 교육을 통해 거의 대부분의 형태로 된 본드 패드를 검색하고 검사할 수 있습니다.
탐침 팁 검사
전문 소프트웨어를 통해 웨이퍼의 탐침 팁을 검사할 수 있으며 올바른 정렬을 구현할 수 있습니다.
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